Меры эталонные ПРО-10 представляют собой кремниевые пластинки, на которых методом масочного травления сформирован периодический трапецеидальный профиль. Для защиты от влияния атмосферы поверхность пластинок закрыта тонкой пленкой нитрида кремния. Для устойчивости в работе пластинки вклеены в основание.